エキシマレーザ   :ラインアップ

コヒレント社は、卓越した技術を誇るドイツのエキシマレーザメーカー2社(ラムダフィジック社、TuiLaser社)を傘下に、2005年10月1日より エキシマレーザ(UV波長領域における高出力パルスレーザ)の販売を開始いたしました。コヒレント社のエキシマレーザは、157、193、248、 308、351 nmの波長ラインアップを取り揃えており、ニーズやご予算に応じ、様々なパルスエネルギーと繰返周波数のモデルを選択いただけます。その優れた性能と信頼性(長寿命)が評価され、理科学研究用途から産業組込用途まで、豊富な納入実績を誇ります。

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  • 9高平均出力( 150 – 1500W )
  • 9中平均出力( 50 – 150W )
  • 9低平均出力( 50W以下 )
  • 9レーザリフトオフ用ラインビームシステム
  • 9UV微細加工装置
  • 9レーザアブレーションシステム
  • 9ご提案型専用光学系
  • 20120208

    レーザアニーリング向け大出力エキ...

    VYPER

    VYPER

    308nm,~1200W@600Hz

    優れたエネルギー安定性(0.45%以下)

    第8世代までの基板サイズにも対応

  • 20120208

    大出力超高安定性産業用エキシマレ...

    LAMBDA SXシリーズ

    LAMBDA SXシリーズ

    248/308nm,~540W@600Hz

    バーストモードでもエネルギーが安定

    レーザアニーリングや超精密ドリリングの光源に最適

    専用ソフトウェアにより、複数台の運用を一括管理

  • 20120208

    高効率、高出力エキシマレーザ

    LPXproシリーズ

    LPXproシリーズ

    157/193/248/308/351nm,~80W@200Hz

    稼働率の高い産業用途にも対応

  • 20120208

    高効率、高出力産業用エキシマレー...

    LEAPシリーズ

    LEAPシリーズ

    248/308 nm,~300W @ 300 Hz

    微細加工応用のコールドアブレーションに最適な波長

    効率的な加工を実現する広い安定化パルスエネルギー領域

    低ショットエネルギー単価

  • 20120208

    ファイバーグレーティング用小型エ...

    BraggStar M

    BraggStar M

    ファイバーグレーティング生産用

    248nm,~12W@100Hz

    空間コヒーレンス:800μm(ビーム短軸方向)

    パルスエネルギー:140mJ

    小型

  • 20120208

    小型・高性能エキシマレーザ

    ExciStar XSシリーズ

    ExciStar XSシリーズ

    157/193/248/351nm, ~4W@500Hz

    専用コントロールソフトウェア

    超小型・軽量設計

  • 20120208

    長寿命 小型高繰返しエキシマレー...

    IndyStar

    IndyStar

    193/248nm,~12W@2000Hz

    100億ショットレベルチューブ寿命を実現

    高繰返し(1kHz、2kHz)

    小フットプリント

  • 20120208

    コンパクト、高パルスエネルギータ...

    COMPexシリーズ

    COMPexシリーズ

    193/248/308/351nm, ~30W@100Hz

    コンパクトなデザインで、設置・操作が容易

    理科学及び研究用途、医療用途にも多くの実績

  • 20130514

    レーザリフトオフ用ラインビームシ...

    UVblade

    UVblade

    250 mm ~ 750 mmの長さのラインビームから選択可能(最長:~ 1300 mm)

    均一なビーム強度分布

    シングルショットプロセスにより基板へのダメージを回避

  • 20120208

    UV微細加工装置

    VarioLas

    VarioLas

    3種類の標準モデル

    柔軟な少量生産に最適

    豊富なオプション:安全/制御用

  • 20160125

    レーザ高周波誘導結合プラズマ質量...

    GeoLasHD

    GeoLasHD

    LA-ICP-MS(レーザ高周波誘導結合プラズマ質量分析)応用向け

    193 nm

    1 J/cm2以下から50 J/cm2までの幅広いエネルギー密度

  • 20120208

    エキシマレーザ関連

    エキシマレーザ専用光学系

    エキシマレーザ専用光学系

    光学モジュールやコンポ―ネントを組み合わせて専用の光学系を設計

    ラインビームの最長モデルでは、750mmの長さを実現